Method for controlling specific resistivity and stress of tungsten through pvd sputtering method

WO2023249220 Art A1 28. Dezember 2023

Anmelder: ULVAC, INC. 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2023249220
Aktenzeichen: EP23827340
Anmeldetag: 7. April 2023
Veröffentlichung: 28. Dezember 2023
Rechtsraum: WO
IPC: H01L21/285H01L21/3205H01L21/321H01L21/768C23C14/14C23C14/35C23C14/58

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: ULVAC, INC.
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 ULVAC

Japanisches Unternehmen mit Sitz in Chigasaki, spezialisiert auf Vakuumtechnik sowie Anlagen für die Halbleiter- und Displayfertigung.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Metallurgie & Oberflächentechnik

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