Kühlvorrichtung und Kühlverfahren für Sputtertargets

WO2023274558 Art A1 5. Januar 2023

Anmelder: SCHOTT AG, SCHOTT CORPORATION, SCHOTT JAPAN CORPORATION 🇩🇪

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2023274558
Aktenzeichen: EP21740473
Anmeldetag: 2. Juli 2021
Veröffentlichung: 5. Januar 2023
Rechtsraum: WO
IPC: H01J37/34C23C14/34

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firmen: SCHOTT AG
SCHOTT CORPORATION
SCHOTT JAPAN CORPORATION
Land: 🇩🇪 Deutschland

🇩🇪 SCHOTT

Deutsches Technologieunternehmen mit Sitz in Mainz, spezialisiert auf Spezialglas und Glaskeramik für Pharma-, Optik-, Elektronik- und Haushaltsanwendungen.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Metallurgie & Oberflächentechnik

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