Wavelength control method, laser apparatus, and manufacturing method of electronic device

WO2023276103 Art A1 5. Januar 2023

Anmelder: GIGAPHOTON INC. 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2023276103
Aktenzeichen: EP21948407
Anmeldetag: 1. Juli 2021
Veröffentlichung: 5. Januar 2023
Rechtsraum: WO
IPC: H01S3/137G03F7/20

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: GIGAPHOTON INC.
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Gigaphoton

Gigaphoton ist ein japanischer Hersteller von Excimer-Lasersystemen für die Halbleiterlithografie, ein Gemeinschaftsunternehmen unter Beteiligung von Komatsu. Das Patentportfolio konzentriert sich auf Halbleiter und elektrische Bauelemente sowie Optik und Elektronik. Anmeldungen erstrecken sich von 2001 bis 2023.

539 Patente in unserer Datenbank

Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Optik & Fototechnik

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