Method for controlling canister temperature and raw material supply device

WO2023277539 Art A1 5. Januar 2023

Anmelder: JUSUNG ENGINEERING CO., LTD. 🇰🇷

Details

Veröffentlichungs-Nr.
WO2023277539
Aktenzeichen
EP22833595
Anmeldetag
28. Juni 2022
Veröffentlichung
5. Januar 2023
Rechtsraum
WO
IPC
C23C16/448
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
JUSUNG ENGINEERING CO., LTD.
Land
🇰🇷 Südkorea
🇰🇷 Jusung Engineering

Jusung Engineering ist ein südkoreanischer Hersteller von Anlagen für die Halbleiter- und Displayfertigung. Das Patentportfolio konzentriert sich fast vollständig auf Halbleitertechnik, ergänzt durch Metallurgie und Elektronik. Die Anmeldungen decken den Zeitraum 2000 bis 2025 ab.

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