Maskless lithography system

WO2023277619 Art A1 5. Januar 2023

Anmelder: KOREA ADVANCED INSTITUTE OF SCIENCE AND TECHNOLOGY, KOREA INSTITUTE OF MACHINERY&MATERIALS 🇰🇷

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2023277619
Aktenzeichen: EP22833673
Anmeldetag: 30. Juni 2022
Veröffentlichung: 5. Januar 2023
Rechtsraum: WO
IPC: G03F7/20

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firmen: KOREA ADVANCED INSTITUTE OF SCIENCE AND TECHNOLOGY
KOREA INSTITUTE OF MACHINERY&MATERIALS
Land: 🇰🇷 Südkorea

🇰🇷 KAIST

Südkoreanische technische Universität und Forschungsinstitution mit Fokus auf Ingenieurwissenschaften, Naturwissenschaften und Technologieentwicklung, unter anderem in Robotik und Elektronik.

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🇰🇷 Korea Institute of Machinery & Materials

Das Korea Institute of Machinery & Materials ist ein staatliches südkoreanisches Forschungsinstitut für Maschinenbau und Werkstofftechnik. Das Patentportfolio konzentriert sich auf Werkzeug-, Fertigungs- und Drucktechnik sowie Halbleiter und elektrische Bauelemente, ergänzt durch Verfahrenstechnik und Messtechnik. Anmeldungen erstrecken sich von 2000 bis 2025.

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Fachgebiete

Optik & Fototechnik

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