Wafer adjustment apparatus, reaction chamber, and wafer adjustment method

WO2023279546 Art A1 12. Januar 2023

Anmelder: CHANGXIN MEMORY TECHNOLOGIES, INC. 🇨🇳

Details

Veröffentlichungs-Nr.
WO2023279546
Aktenzeichen
EP21949033
Anmeldetag
27. September 2021
Veröffentlichung
12. Januar 2023
Rechtsraum
WO
IPC
H01L21/683H01L21/67G03F7/20
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
CHANGXIN MEMORY TECHNOLOGIES, INC.
Land
🇨🇳 China
🇨🇳 Changxin Memory Technologies

Chinesischer Halbleiterhersteller mit Sitz in Hefei, spezialisiert auf DRAM-Speicherchips.

2.637 Patente in unserer Datenbank

Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Optik & Fototechnik

Vertreten von

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