Electromagnetic motor system, postion control system, stage apparatus, lithographic apparatus, method of determining a motor-dependent commutation model for an electromagnetic motor

WO2023280690 Art A1 12. Januar 2023

Anmelder: ASML NETHERLANDS B.V. 🇳🇱

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2023280690
Aktenzeichen: EP22747265
Anmeldetag: 30. Juni 2022
Veröffentlichung: 12. Januar 2023
Rechtsraum: WO
IPC: G03F7/20

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: ASML NETHERLANDS B.V.
Land: 🇳🇱 Niederlande

🇳🇱 ASML

Niederländisches Unternehmen, das Lithografiesysteme und weitere Anlagen für die Halbleiterfertigung entwickelt und herstellt, zentral für die Chipindustrie.

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Fachgebiete

Optik & Fototechnik

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