Lichtempfindliche Harzzusammensetzung, Permanenter Resist, Verfahren zur Herstellung des Permanenten Resists und Verfahren zur Inspektion eines Permanent Gehärteten Resistfilms

WO2023281584 Art A1 12. Januar 2023

Anmelder: Resonac Corporation 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2023281584
Aktenzeichen: EP21943327
Anmeldetag: 5. Juli 2021
Veröffentlichung: 12. Januar 2023
Rechtsraum: WO
IPC: G03F7/004G03F7/027G03F7/033G03F7/037G03F7/26

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Resonac Corporation
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Resonac

Japanischer Chemiekonzern mit Sitz in Tokio, hervorgegangen aus Showa Denko. Das Unternehmen stellt unter anderem Halbleitermaterialien, Elektronikchemikalien und funktionale Chemieprodukte her.

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Fachgebiete

Optik & Fototechnik

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