Method for removing mono- to penta-fluoride from molybdenum, and method for manufacturing semiconductor device
WO2023282152
Art A1
12. Januar 2023
Anmelder: CENTRAL GLASS CO., LTD. 🇯🇵
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- WO2023282152
- Aktenzeichen
- EP22837568
- Anmeldetag
- 29. Juni 2022
- Veröffentlichung
- 12. Januar 2023
- Rechtsraum
- WO
- IPC
- H01L21/302
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- CENTRAL GLASS CO., LTD.
- Land
- 🇯🇵 Japan
🇯🇵
Central Glass
Japanisches Unternehmen mit Sitz in Tokio, das Flachglas, Spezialglas sowie Fluorchemikalien für Industrie und Bauwesen herstellt.
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