Cleaning agent composition for post-cmp step

WO2023282287 Art A1 12. Januar 2023

Anmelder: NIPPON SHOKUBAI CO., LTD., CLARKSON UNIVERSITY 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2023282287
Aktenzeichen: EP22837701
Anmeldetag: 6. Juli 2022
Veröffentlichung: 12. Januar 2023
Rechtsraum: WO
IPC: H01L21/304C11D1/72C11D1/722C11D3/04C11D3/20C11D3/28C11D3/30

Offizieller Volltext

Abstract

Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.

Anmelder

Firmen: NIPPON SHOKUBAI CO., LTD.
CLARKSON UNIVERSITY
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Nippon Shokubai

Japanisches Chemieunternehmen, das unter anderem Acrylsäure, Superabsorber und Katalysatoren für die Industrie produziert.

1.571 Patente in unserer Datenbank

Fachgebiete

Farben, Klebstoffe & Brennstoffe Halbleiter & Elektrische Bauelemente

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