Composition for removing edge bead of metal-containing resist and method for forming pattern comprising step of removing edge bead by using same

WO2023282515 Art A1 12. Januar 2023

Anmelder: SAMSUNG SDI CO., LTD. 🇰🇷

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2023282515
Aktenzeichen: EP22837867
Anmeldetag: 27. Juni 2022
Veröffentlichung: 12. Januar 2023
Rechtsraum: WO
IPC: C11D7/26G03F7/004G03F7/20H01L21/027

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: SAMSUNG SDI CO., LTD.
Land: 🇰🇷 Südkorea

🇰🇷 Samsung SDI

Südkoreanisches Unternehmen der Samsung-Gruppe, das Batterien und Energiespeichersysteme für Elektrofahrzeuge, Elektronikgeräte und stationäre Anwendungen entwickelt und produziert.

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Fachgebiete

Farben, Klebstoffe & Brennstoffe Halbleiter & Elektrische Bauelemente Optik & Fototechnik

Vertreten von