Conditioner, chemical-mechanical polishing device, and detection method of conditioner
WO2023284233
Art A1
19. Januar 2023
Anmelder: CHANGXIN MEMORY TECHNOLOGIES, INC. 🇨🇳
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- WO2023284233
- Aktenzeichen
- EP21950005
- Anmeldetag
- 6. Dezember 2021
- Veröffentlichung
- 19. Januar 2023
- Rechtsraum
- WO
- IPC
- B24B37/00B24B37/005B24B37/34G01L11/00
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- CHANGXIN MEMORY TECHNOLOGIES, INC.
- Land
- 🇨🇳 China
🇨🇳
Changxin Memory Technologies
Chinesischer Halbleiterhersteller mit Sitz in Hefei, spezialisiert auf DRAM-Speicherchips.
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Vertreten von
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