Optical isolator, ultraviolet laser device, and manufacturing method for electronic device

WO2023286236 Art A1 19. Januar 2023

Anmelder: GIGAPHOTON INC. 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.
WO2023286236
Aktenzeichen
EP21950175
Anmeldetag
15. Juli 2021
Veröffentlichung
19. Januar 2023
Rechtsraum
WO
IPC
G02B27/28H01S3/02H01S3/225
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
GIGAPHOTON INC.
Land
🇯🇵 Japan
🇯🇵 Gigaphoton

Gigaphoton ist ein japanischer Hersteller von Excimer-Lasersystemen für die Halbleiterlithografie, ein Gemeinschaftsunternehmen unter Beteiligung von Komatsu. Das Patentportfolio konzentriert sich auf Halbleiter und elektrische Bauelemente sowie Optik und Elektronik. Anmeldungen erstrecken sich von 2001 bis 2023.

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