Vacuum processing device

WO2023286369 Art A1 19. Januar 2023

Anmelder: ULVAC, INC. 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2023286369
Aktenzeichen: EP22841719
Anmeldetag: 18. März 2022
Veröffentlichung: 19. Januar 2023
Rechtsraum: WO
IPC: C23C14/00C23C16/44H01L21/683

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: ULVAC, INC.
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 ULVAC

Japanisches Unternehmen mit Sitz in Chigasaki, spezialisiert auf Vakuumtechnik sowie Anlagen für die Halbleiter- und Displayfertigung.

444 Patente in unserer Datenbank

Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Metallurgie & Oberflächentechnik

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