Reflection type mask blank and method for manufacturing same

WO2023286669 Art A1 19. Januar 2023

Anmelder: AGC INC. 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2023286669
Aktenzeichen: EP22842013
Anmeldetag: 6. Juli 2022
Veröffentlichung: 19. Januar 2023
Rechtsraum: WO
IPC: G03F1/24C23C14/06C23C14/14

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: AGC INC.
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 AGC (Asahi Glass)

Japanischer Glas- und Chemiekonzern mit Sitz in Tokio, früher als Asahi Glass Company firmierend. AGC entwickelt Flachglas, elektronische Materialien, Spezialchemikalien sowie Glasprodukte für Automobil-, Bau- und Elektronikindustrie.

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Fachgebiete

Metallurgie & Oberflächentechnik Optik & Fototechnik

Vertreten von