Upper dome for substrate processing apparatus, and substrate processing apparatus

WO2023287155 Art A1 19. Januar 2023

Anmelder: JUSUNG ENGINEERING CO., LTD. 🇰🇷

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2023287155
Aktenzeichen: EP22842417
Anmeldetag: 12. Juli 2022
Veröffentlichung: 19. Januar 2023
Rechtsraum: WO
IPC: C23C16/00H01J37/32C30B25/08

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: JUSUNG ENGINEERING CO., LTD.
Land: 🇰🇷 Südkorea

🇰🇷 Jusung Engineering

Jusung Engineering ist ein südkoreanischer Hersteller von Anlagen für die Halbleiter- und Displayfertigung. Das Patentportfolio konzentriert sich fast vollständig auf Halbleitertechnik, ergänzt durch Metallurgie und Elektronik. Die Anmeldungen decken den Zeitraum 2000 bis 2025 ab.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Metallurgie & Oberflächentechnik

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