Pulsed power systems with controlled reactor reset

WO2023287518 Art A1 19. Januar 2023

Anmelder: CYMER, LLC 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2023287518
Aktenzeichen: EP22738797
Anmeldetag: 6. Juni 2022
Veröffentlichung: 19. Januar 2023
Rechtsraum: WO
IPC: H01S3/225H01S3/097H01S3/23H01S3/13H01S3/134H01S3/10H01S3/0975

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: CYMER, LLC
Land: 🇺🇸 USA

🇺🇸 Cymer

Cymer ist ein US-amerikanisches Unternehmen für Lichtquellen zur Halbleiterlithografie, das zum ASML-Konzern gehört. Das Patentportfolio konzentriert sich sehr stark auf Halbleiter und elektrische Bauelemente sowie Optik und Fototechnik. Anmeldungen laufen kontinuierlich seit dem Jahr 2000.

399 Patente in unserer Datenbank

Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente

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