Sensor assembly and methods of vapor monitoring in process chambers

WO2023287550 Art A1 19. Januar 2023

Anmelder: APPLIED MATERIALS, INC. 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2023287550
Aktenzeichen: EP22842632
Anmeldetag: 17. Juni 2022
Veröffentlichung: 19. Januar 2023
Rechtsraum: WO
IPC: C23C14/54C23C14/12C23C14/22C23C16/52C23C16/455G01B7/06

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: APPLIED MATERIALS, INC.
Land: 🇺🇸 USA

🇺🇸 Applied Materials

US-amerikanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Santa Clara, Kalifornien. Applied Materials entwickelt Fertigungsanlagen und Prozesstechnologien für die Halbleiter-, Display- und Solarindustrie, unter anderem für Beschichtung, Ätzen und Materialabscheidung.

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Fachgebiete

Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik Metallurgie & Oberflächentechnik

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