Focus measurment and control in metrology and associated wedge arrangement

WO2024002546 Art A1 4. Januar 2024

Anmelder: ASML NETHERLANDS B.V. 🇳🇱

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2024002546
Aktenzeichen: EP23721426
Anmeldetag: 25. April 2023
Veröffentlichung: 4. Januar 2024
Rechtsraum: WO
IPC: G03F9/00G03F7/20G01N21/47G01N21/956G02B7/34G01N21/88G01N21/95G01B11/00

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: ASML NETHERLANDS B.V.
Land: 🇳🇱 Niederlande

🇳🇱 ASML

Niederländisches Unternehmen, das Lithografiesysteme und weitere Anlagen für die Halbleiterfertigung entwickelt und herstellt, zentral für die Chipindustrie.

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Fachgebiete

Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik Optik & Fototechnik

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