Euv collector for an euv projection exposure apparatus

WO2024002672 Art A1 4. Januar 2024

Anmelder: CARL ZEISS SMT GMBH 🇩🇪

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2024002672
Aktenzeichen: EP23733882
Anmeldetag: 13. Juni 2023
Veröffentlichung: 4. Januar 2024
Rechtsraum: WO
IPC: G03F7/00G02B5/08G02B19/00

Offizieller Volltext

Abstract

Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.

Anmelder

Firma: CARL ZEISS SMT GMBH
Land: 🇩🇪 Deutschland

🇩🇪 Carl Zeiss SMT

Deutsches Unternehmen der Carl Zeiss Gruppe mit Sitz in Oberkochen, das optische Systeme und Lithographieoptiken für die Halbleiterindustrie entwickelt.

2.391 Patente in unserer Datenbank

Fachgebiete

Optik & Fototechnik

Vertreten von