Calibration of digital analog converter to control deflectors in charged particle beam system

WO2024002798 Art A1 4. Januar 2024

Anmelder: ASML NETHERLANDS B.V. 🇳🇱

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2024002798
Aktenzeichen: EP23735609
Anmeldetag: 20. Juni 2023
Veröffentlichung: 4. Januar 2024
Rechtsraum: WO
IPC: H03M1/10H01J37/317H03M1/66

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: ASML NETHERLANDS B.V.
Land: 🇳🇱 Niederlande

🇳🇱 ASML

Niederländisches Unternehmen, das Lithografiesysteme und weitere Anlagen für die Halbleiterfertigung entwickelt und herstellt, zentral für die Chipindustrie.

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Fachgebiete

Elektronik & Schaltungstechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente

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