Semiconductor manufacturing device member and electrostatic chuck device
WO2024004778
Art A1
4. Januar 2024
Anmelder: SUMITOMO OSAKA CEMENT CO., LTD. 🇯🇵
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- WO2024004778
- Aktenzeichen
- EP23831224
- Anmeldetag
- 21. Juni 2023
- Veröffentlichung
- 4. Januar 2024
- Rechtsraum
- WO
- IPC
- H01L21/683C23C16/458H01L21/205H01L21/3065
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- SUMITOMO OSAKA CEMENT CO., LTD.
- Land
- 🇯🇵 Japan
🇯🇵
Sumitomo Osaka Cement
Sumitomo Osaka Cement ist ein japanisches Unternehmen, das neben klassischer Zementproduktion auch elektronische und optische Materialien für die Halbleiterindustrie herstellt. Das Patentportfolio konzentriert sich auf Optik und Fototechnik sowie Halbleiter und elektrische Bauelemente, ergänzt durch anorganische Chemie und Werkstoffe. Anmeldungen erstrecken sich von 2000 bis 2025.
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