Method of determining a parasitic force of an actuator of an optical component, control method for an actuator, optical system, projection system and lithographic apparatus

WO2024008394 Art A1 11. Januar 2024

Anmelder: ASML NETHERLANDS B.V. 🇳🇱

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2024008394
Aktenzeichen: EP23732116
Anmeldetag: 12. Juni 2023
Veröffentlichung: 11. Januar 2024
Rechtsraum: WO
IPC: G03F7/20

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: ASML NETHERLANDS B.V.
Land: 🇳🇱 Niederlande

🇳🇱 ASML

Niederländisches Unternehmen, das Lithografiesysteme und weitere Anlagen für die Halbleiterfertigung entwickelt und herstellt, zentral für die Chipindustrie.

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Fachgebiete

Optik & Fototechnik

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