Chamber for gas laser apparatus, gas laser apparatus, and method for manufacturing electronic device

WO2024009662 Art A1 11. Januar 2024

Anmelder: GIGAPHOTON INC. 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2024009662
Aktenzeichen: EP23835198
Anmeldetag: 1. Juni 2023
Veröffentlichung: 11. Januar 2024
Rechtsraum: WO
IPC: H01S3/038H01S3/097

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: GIGAPHOTON INC.
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Gigaphoton

Gigaphoton ist ein japanischer Hersteller von Excimer-Lasersystemen für die Halbleiterlithografie, ein Gemeinschaftsunternehmen unter Beteiligung von Komatsu. Das Patentportfolio konzentriert sich auf Halbleiter und elektrische Bauelemente sowie Optik und Elektronik. Anmeldungen erstrecken sich von 2001 bis 2023.

539 Patente in unserer Datenbank

Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente

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