Method of assessing a sample, apparatus for assessing a sample

WO2024013039 Art A1 18. Januar 2024

Anmelder: ASML NETHERLANDS B.V. 🇳🇱

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2024013039
Aktenzeichen: EP23741027
Anmeldetag: 8. Juli 2023
Veröffentlichung: 18. Januar 2024
Rechtsraum: WO
IPC: G01N23/2202H01J37/02G01N1/44G01N23/203G01N23/2251G01N23/2276

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: ASML NETHERLANDS B.V.
Land: 🇳🇱 Niederlande

🇳🇱 ASML

Niederländisches Unternehmen, das Lithografiesysteme und weitere Anlagen für die Halbleiterfertigung entwickelt und herstellt, zentral für die Chipindustrie.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik

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