Determining mask rule check violations and mask design based on local feature dimension

WO2024013273 Art A1 18. Januar 2024

Anmelder: ASML NETHERLANDS B.V. 🇳🇱

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2024013273
Aktenzeichen: EP23741698
Anmeldetag: 12. Juli 2023
Veröffentlichung: 18. Januar 2024
Rechtsraum: WO
IPC: G03F1/36G03F1/70G03F7/00G06T7/10

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: ASML NETHERLANDS B.V.
Land: 🇳🇱 Niederlande

🇳🇱 ASML

Niederländisches Unternehmen, das Lithografiesysteme und weitere Anlagen für die Halbleiterfertigung entwickelt und herstellt, zentral für die Chipindustrie.

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Fachgebiete

Optik & Fototechnik Software & Datenverarbeitung

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