Resist auxiliary film composition, and pattern forming method using same

WO2024014330 Art A1 18. Januar 2024

Anmelder: MITSUBISHI GAS CHEMICAL COMPANY, INC. 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2024014330
Aktenzeichen: EP23839502
Anmeldetag: 3. Juli 2023
Veröffentlichung: 18. Januar 2024
Rechtsraum: WO
IPC: G03F7/11C08L57/00C08L61/08C08L83/00C08L101/00G03F7/004G03F7/023G03F7/039H01L21/027

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: MITSUBISHI GAS CHEMICAL COMPANY, INC.
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Mitsubishi Gas Chemical Company

Japanisches Chemieunternehmen der Mitsubishi-Gruppe mit Fokus auf technische Kunststoffe, Methanol und Spezialchemikalien. Der Konzern beliefert unter anderem die Elektronik- und Verpackungsindustrie.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Kunststoff- & Polymertechnik Optik & Fototechnik

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