Manufacturing apparatus for semiconductor device and manufacturing method

WO2024014423 Art A1 18. Januar 2024

Anmelder: SHINKAWA LTD. 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.
WO2024014423
Aktenzeichen
EP23839595
Anmeldetag
10. Juli 2023
Veröffentlichung
18. Januar 2024
Rechtsraum
WO
IPC
H01L21/60
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
SHINKAWA LTD.
Land
🇯🇵 Japan
🇯🇵 Shinkawa

Shinkawa ist ein japanischer Hersteller von Bondanlagen für die Halbleiterfertigung mit Sitz in Musashimurayama. Das Patentportfolio konzentriert sich sehr stark auf Halbleiter- und elektrische Bauelemente sowie Elektronik, ergänzt um Mess- und Verfahrenstechnik. Die Anmeldungen betreffen überwiegend Montagevorrichtungen und zugehörige Steuerprogramme.

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