Apparatus and method for modulating spatial distribution of plasma and ion energy using frequency-dependent transmission line

WO2024015258 Art A1 18. Januar 2024

Anmelder: LAM Research Corporation 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2024015258
Aktenzeichen: EP23840152
Anmeldetag: 7. Juli 2023
Veröffentlichung: 18. Januar 2024
Rechtsraum: WO
IPC: H01J37/32C23C16/50C23C16/455C23C16/52

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: LAM Research Corporation
Land: 🇺🇸 USA

🇺🇸 Lam Research

US-amerikanischer Hersteller von Fertigungsanlagen für die Halbleiterindustrie mit Sitz in Fremont, Kalifornien, spezialisiert auf Ätz- und Beschichtungssysteme (Deposition) für die Chipproduktion.

2.725 Patente in unserer Datenbank

Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Metallurgie & Oberflächentechnik

Vertreten von