Fast frequency tracking control for radiofrequency power amplifiers with rapidly changing plasma loads

WO2024015304 Art A1 18. Januar 2024

Anmelder: LAM RESEARCH CORPORATION, AIRITY TECHNOLOGIES, INC. 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2024015304
Aktenzeichen: EP23840177
Anmeldetag: 10. Juli 2023
Veröffentlichung: 18. Januar 2024
Rechtsraum: WO
IPC: H01J37/32H03K5/135

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firmen: LAM RESEARCH CORPORATION
AIRITY TECHNOLOGIES, INC.
Land: 🇺🇸 USA

🇺🇸 Lam Research

US-amerikanischer Hersteller von Fertigungsanlagen für die Halbleiterindustrie mit Sitz in Fremont, Kalifornien, spezialisiert auf Ätz- und Beschichtungssysteme (Deposition) für die Chipproduktion.

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Fachgebiete

Elektronik & Schaltungstechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente

Vertreten von