Processing method, processing apparatus and processing system for semiconductor structure
WO2024016380
Art A1
25. Januar 2024
Anmelder: CHANGXIN MEMORY TECHNOLOGIES, INC. 🇨🇳
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- WO2024016380
- Aktenzeichen
- EP22951648
- Anmeldetag
- 1. August 2022
- Veröffentlichung
- 25. Januar 2024
- Rechtsraum
- WO
- IPC
- G03F7/42H01L21/67
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- CHANGXIN MEMORY TECHNOLOGIES, INC.
- Land
- 🇨🇳 China
🇨🇳
Changxin Memory Technologies
Chinesischer Halbleiterhersteller mit Sitz in Hefei, spezialisiert auf DRAM-Speicherchips.
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Vertreten von
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