Vorrichtung und Verfahren zum Bestimmen eines Passformfehlers bei einem Hohlspiegel

WO2024017688 Art A1 25. Januar 2024

Anmelder: CARL ZEISS SMT GMBH 🇩🇪

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2024017688
Aktenzeichen: EP23741361
Anmeldetag: 10. Juli 2023
Veröffentlichung: 25. Januar 2024
Rechtsraum: WO
IPC: G01M11/00

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: CARL ZEISS SMT GMBH
Land: 🇩🇪 Deutschland

🇩🇪 Carl Zeiss SMT

Deutsches Unternehmen der Carl Zeiss Gruppe mit Sitz in Oberkochen, das optische Systeme und Lithographieoptiken für die Halbleiterindustrie entwickelt.

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Fachgebiete

Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik

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