Electron-optical apparatus and method of obtaining topographical information about a sample surface

WO2024017765 Art A1 25. Januar 2024

Anmelder: ASML NETHERLANDS B.V. 🇳🇱

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2024017765
Aktenzeichen: EP23739609
Anmeldetag: 13. Juli 2023
Veröffentlichung: 25. Januar 2024
Rechtsraum: WO
IPC: H01J37/317H01J37/28H01J37/26H01J37/21G03F9/00

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: ASML NETHERLANDS B.V.
Land: 🇳🇱 Niederlande

🇳🇱 ASML

Niederländisches Unternehmen, das Lithografiesysteme und weitere Anlagen für die Halbleiterfertigung entwickelt und herstellt, zentral für die Chipindustrie.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Optik & Fototechnik

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