Reservoir device and process state prediction system

WO2024018696 Art A1 25. Januar 2024

Anmelder: TOKYO ELECTRON LIMITED, NATIONAL UNIVERSITY CORPORATION HOKKAIDO UNIVERSIT 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2024018696
Aktenzeichen: EP23842630
Anmeldetag: 4. April 2023
Veröffentlichung: 25. Januar 2024
Rechtsraum: WO
IPC: G06N3/044G06N3/063

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firmen: TOKYO ELECTRON LIMITED
NATIONAL UNIVERSITY CORPORATION HOKKAIDO UNIVERSIT
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Tokyo Electron

Japanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Tokio, einer der weltweit größten Hersteller von Halbleiterfertigungsanlagen. Aktiv in Beschichtungs-, Ätz- und Reinigungssystemen für die Chip- und Displayproduktion.

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Fachgebiete

Software & Datenverarbeitung

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