Laser annealing apparatus, laser annealing method, and laser annealing program

WO2024018786 Art A1 25. Januar 2024

Anmelder: SUMITOMO HEAVY INDUSTRIES, LTD. 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2024018786
Aktenzeichen: EP23842718
Anmeldetag: 14. Juni 2023
Veröffentlichung: 25. Januar 2024
Rechtsraum: WO
IPC: H01L21/265B23K26/354H01L21/268

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: SUMITOMO HEAVY INDUSTRIES, LTD.
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Sumitomo Heavy Industries

Japanischer Industriekonzern mit Sitz in Tokio. Sumitomo Heavy Industries fertigt Maschinenbauprodukte, Baumaschinen, Getriebe sowie Anlagen für Umwelttechnik und Schiffbau.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Werkzeug-, Fertigungs- & Drucktechnik

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