Dry etching method for carbon atom-containing film

WO2024019122 Art A1 25. Januar 2024

Anmelder: SUMITOMO SEIKA CHEMICALS CO., LTD. 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2024019122
Aktenzeichen: EP23843045
Anmeldetag: 20. Juli 2023
Veröffentlichung: 25. Januar 2024
Rechtsraum: WO
IPC: H01L21/3065

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: SUMITOMO SEIKA CHEMICALS CO., LTD.
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Sumitomo Seika Chemicals Co., Ltd.

Japanisches Chemieunternehmen der Sumitomo-Gruppe mit Sitz in Hyogo, Hersteller von Spezialchemikalien und Polymeren, unter anderem superabsorbierenden Polymeren. Patente betreffen vor allem Polymer- und Materialtechnik.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente

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