In-situ epi growth rate control of crystal thickness using parametric resonance sensing

WO2024019771 Art A1 25. Januar 2024

Anmelder: APPLIED MATERIALS, INC. 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2024019771
Aktenzeichen: EP23843496
Anmeldetag: 13. Januar 2023
Veröffentlichung: 25. Januar 2024
Rechtsraum: WO
IPC: C30B25/16C30B25/12C30B25/14

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: APPLIED MATERIALS, INC.
Land: 🇺🇸 USA

🇺🇸 Applied Materials

US-amerikanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Santa Clara, Kalifornien. Applied Materials entwickelt Fertigungsanlagen und Prozesstechnologien für die Halbleiter-, Display- und Solarindustrie, unter anderem für Beschichtung, Ätzen und Materialabscheidung.

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Fachgebiete

Metallurgie & Oberflächentechnik

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