Verfahren, Vorrichtung und Computerimplementiertes Verfahren zur Inspektion eines Bauteils, insbesondere eines Bauteils eines Lithografiesystems, sowie Lithografiesystem

WO2024022835 Art A1 1. Februar 2024

Anmelder: CARL ZEISS SMT GMBH 🇩🇪

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2024022835
Aktenzeichen: EP23744082
Anmeldetag: 13. Juli 2023
Veröffentlichung: 1. Februar 2024
Rechtsraum: WO
IPC: G01N21/94G01N21/95G01N21/88G03F7/00G01M11/00G01M11/02

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: CARL ZEISS SMT GMBH
Land: 🇩🇪 Deutschland

🇩🇪 Carl Zeiss SMT

Deutsches Unternehmen der Carl Zeiss Gruppe mit Sitz in Oberkochen, das optische Systeme und Lithographieoptiken für die Halbleiterindustrie entwickelt.

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Fachgebiete

Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik Optik & Fototechnik

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