Method and apparatus for in-situ sample quality inspection in cryogenic focused ion beam milling

WO2024025413 Art A1 1. Februar 2024

Anmelder: TECHNISCHE UNIVERSITEIT DELFT 🇳🇱

Details

Veröffentlichungs-Nr.
WO2024025413
Aktenzeichen
EP23745289
Anmeldetag
21. Juli 2023
Veröffentlichung
1. Februar 2024
Rechtsraum
WO
IPC
G01N23/225H01J37/26G01N23/2251
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
TECHNISCHE UNIVERSITEIT DELFT
Land
🇳🇱 Niederlande
🇳🇱 Technische Universiteit Delft

Niederländische Technische Universität in Delft mit breiter Forschung in Ingenieurwissenschaften und angewandter Technik.

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