Vorrichtung und Verfahren zur Aufbringung eines Fluids und Komponente

WO2024028170 Art A1 8. Februar 2024

Anmelder: CARL ZEISS SMT GMBH 🇩🇪

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2024028170
Aktenzeichen: EP23751265
Anmeldetag: 25. Juli 2023
Veröffentlichung: 8. Februar 2024
Rechtsraum: WO
IPC: B05B1/14H01L21/00B05B12/10

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: CARL ZEISS SMT GMBH
Land: 🇩🇪 Deutschland

🇩🇪 Carl Zeiss SMT

Deutsches Unternehmen der Carl Zeiss Gruppe mit Sitz in Oberkochen, das optische Systeme und Lithographieoptiken für die Halbleiterindustrie entwickelt.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Verfahrens- & Trenntechnik

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