Method and device for correcting image errors when scanning a charged particle beam over a sample

WO2024028233 Art A1 8. Februar 2024

Anmelder: CARL ZEISS SMT GMBH 🇩🇪

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2024028233
Aktenzeichen: EP23750966
Anmeldetag: 28. Juli 2023
Veröffentlichung: 8. Februar 2024
Rechtsraum: WO
IPC: H01J37/147H01J37/22H01J37/28

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: CARL ZEISS SMT GMBH
Land: 🇩🇪 Deutschland

🇩🇪 Carl Zeiss SMT

Deutsches Unternehmen der Carl Zeiss Gruppe mit Sitz in Oberkochen, das optische Systeme und Lithographieoptiken für die Halbleiterindustrie entwickelt.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente

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