Method of characterizing a fault in a scanning electron microscope

WO2024028468 Art A2 8. Februar 2024

Anmelder: CARL ZEISS SMT GMBH 🇩🇪

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2024028468
Aktenzeichen: EP23754213
Anmeldetag: 3. August 2023
Veröffentlichung: 8. Februar 2024
Rechtsraum: WO
IPC: H01J37/28G03F1/72H01J37/22H01J37/26

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: CARL ZEISS SMT GMBH
Land: 🇩🇪 Deutschland

🇩🇪 Carl Zeiss SMT

Deutsches Unternehmen der Carl Zeiss Gruppe mit Sitz in Oberkochen, das optische Systeme und Lithographieoptiken für die Halbleiterindustrie entwickelt.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Optik & Fototechnik

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