Composition, compound, and method for manufacturing semiconductor substrate

WO2024029292 Art A1 8. Februar 2024

Anmelder: JSR CORPORATION 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2024029292
Aktenzeichen: EP23849851
Anmeldetag: 12. Juli 2023
Veröffentlichung: 8. Februar 2024
Rechtsraum: WO
IPC: G03F7/11C07C13/58C07C13/62C07C13/66C07C39/17C07D487/04H01L21/027

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: JSR CORPORATION
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 JSR Corporation

JSR Corporation ist ein japanisches Chemieunternehmen, das synthetische Kautschuke sowie Materialien für die Halbleiter- und Displayindustrie herstellt.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Optik & Fototechnik Organische Chemie

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