Fluid dispensing system and method

WO2024032987 Art A1 15. Februar 2024

Anmelder: ASML NETHERLANDS B.V. 🇳🇱

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2024032987
Aktenzeichen: EP23736763
Anmeldetag: 6. Juli 2023
Veröffentlichung: 15. Februar 2024
Rechtsraum: WO
IPC: G03F7/20H05G2/00H01J37/32

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: ASML NETHERLANDS B.V.
Land: 🇳🇱 Niederlande

🇳🇱 ASML

Niederländisches Unternehmen, das Lithografiesysteme und weitere Anlagen für die Halbleiterfertigung entwickelt und herstellt, zentral für die Chipindustrie.

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Fachgebiete

Elektronik & Schaltungstechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente Optik & Fototechnik

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