Pre-Wet Module

WO2024033966 Art A1 15. Februar 2024

Anmelder: EBARA CORPORATION 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2024033966
Aktenzeichen: EP22954888
Anmeldetag: 8. August 2022
Veröffentlichung: 15. Februar 2024
Rechtsraum: WO
IPC: H01L21/304C25D7/12C25D17/00H01L21/288

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: EBARA CORPORATION
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Ebara

Japanischer Hersteller von Pumpen, Kompressoren und Umwelttechnik mit Sitz in Tokio, gegründet 1912.

1.514 Patente in unserer Datenbank

Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Metallurgie & Oberflächentechnik

Vertreten von

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