Substrate holder, plating device, and substrate positioning method

WO2024034047 Art A1 15. Februar 2024

Anmelder: EBARA CORPORATION 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.
WO2024034047
Aktenzeichen
EP22954965
Anmeldetag
10. August 2022
Veröffentlichung
15. Februar 2024
Rechtsraum
WO
IPC
C25D17/06
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
EBARA CORPORATION
Land
🇯🇵 Japan
🇯🇵 Ebara

Japanischer Hersteller von Pumpen, Kompressoren und Umwelttechnik mit Sitz in Tokio, gegründet 1912.

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