Chamber transfer apparatus and atomic layer deposition apparatus comprising same

WO2024034790 Art A1 15. Februar 2024

Anmelder: HANWHA SOLUTIONS CORPORATION 🇰🇷

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2024034790
Aktenzeichen: EP23852685
Anmeldetag: 19. Mai 2023
Veröffentlichung: 15. Februar 2024
Rechtsraum: WO
IPC: H01L21/677C23C16/455

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: HANWHA SOLUTIONS CORPORATION
Land: 🇰🇷 Südkorea

🇰🇷 Hanwha Solutions

Südkoreanisches Unternehmen, das in den Bereichen Chemie, Kunststoffe und Solarenergie tätig ist, darunter Herstellung von Photovoltaikmodulen sowie petrochemischen Grundstoffen und Kunststoffen.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Metallurgie & Oberflächentechnik

Vertreten von