Detecting Defects On Specimens
WO2024035493
Art A1
15. Februar 2024
Anmelder: KLA CORPORATION 🇺🇸
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- WO2024035493
- Aktenzeichen
- EP23853187
- Anmeldetag
- 27. Juni 2023
- Veröffentlichung
- 15. Februar 2024
- Rechtsraum
- WO
- IPC
- G06T7/00G06T7/90G06T7/70G06T7/174H01L21/66
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- KLA CORPORATION
- Land
- 🇺🇸 USA
🇺🇸
KLA Corporation
US-amerikanisches Unternehmen (frühere Firmierung KLA-Tencor), das Prozesskontroll- und Messsysteme für die Halbleiterfertigung entwickelt.
1.908 Patente in unserer Datenbank
Vertreten von
Kein Vertreter erfasst.