Apparatus for and method of controlling cold start conditioning in a light source

WO2024035528 Art A1 15. Februar 2024

Anmelder: CYMER, LLC 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2024035528
Aktenzeichen: EP23754039
Anmeldetag: 19. Juli 2023
Veröffentlichung: 15. Februar 2024
Rechtsraum: WO
IPC: H01S3/134H01S3/225

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: CYMER, LLC
Land: 🇺🇸 USA

🇺🇸 Cymer

Cymer ist ein US-amerikanisches Unternehmen für Lichtquellen zur Halbleiterlithografie, das zum ASML-Konzern gehört. Das Patentportfolio konzentriert sich sehr stark auf Halbleiter und elektrische Bauelemente sowie Optik und Fototechnik. Anmeldungen laufen kontinuierlich seit dem Jahr 2000.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente

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