Method and apparatus for contactless inspection of a substrate

WO2024037834 Art A1 22. Februar 2024

Anmelder: ASML NETHERLANDS B.V. 🇳🇱

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2024037834
Aktenzeichen: EP23744828
Anmeldetag: 24. Juli 2023
Veröffentlichung: 22. Februar 2024
Rechtsraum: WO
IPC: G01R31/312

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: ASML NETHERLANDS B.V.
Land: 🇳🇱 Niederlande

🇳🇱 ASML

Niederländisches Unternehmen, das Lithografiesysteme und weitere Anlagen für die Halbleiterfertigung entwickelt und herstellt, zentral für die Chipindustrie.

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Fachgebiete

Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik

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